丝织构对薄膜X射线残余应力分析的影响

摘要：

具有择尤取向的薄膜材料因弹性呈现各向异性，在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时，常发生d-sin2ψ测试曲线的非线性振荡，无法得到准确的应力值。本文利用Voigt、Reuss和Kroner模型计算了TiN薄膜的弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生的弯曲。与实测PVD TiN薄膜的应力测试曲线的弯曲情况相似，说明丝织构的确可能造成薄膜应力测试d-sin2ψ曲线的低ψ角弯曲。

关键词：丝织构、弹性常数、残余应力、薄膜、X射线衍射

所属期刊栏目：25

分类号：TG115.22(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59731020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-23，31