10.3969/j.issn.1000-3738.2001.05.006
丝织构对薄膜X射线残余应力分析的影响
具有择尤取向的薄膜材料因弹性呈现各向异性,在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时,常发生d-sin2ψ测试曲线的非线性振荡,无法得到准确的应力值。本文利用Voigt、Reuss和Kroner模型计算了TiN薄膜的弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生的弯曲。与实测PVD TiN薄膜的应力测试曲线的弯曲情况相似,说明丝织构的确可能造成薄膜应力测试d-sin2ψ曲线的低ψ角弯曲。
丝织构、弹性常数、残余应力、薄膜、X射线衍射
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TG115.22(金属学与热处理)
国家自然科学基金59731020
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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21-23,31