基于微位移平台的辊筒模具表面微结构在位测量方法

摘要：

辊对辊压花工艺中,具有功能性微结构图案的金属辊模是关键部件,因为功能性微结构图案的表面质量和精度将直接反映在光学膜上.因此,对辊模具表面微结构的轮廓测量显得尤为重要.但是,离线测量后想要进行补偿加工会引入装夹误差,对于一些大型辊筒模具而言不便于拆装且很难有相应的测量仪器.本文提出了一种基于微位移平台的辊筒模具表面微结构在位测量方法.建立了测量原理的数学模型,以消除机床导轨直线度误差和微位移平台系统误差的影响,减少传感器漂移的影响.分析了在实际测量中测量系统的不确定性,并通过仿真分析了该方法的可行性.对微位移平台的性能进行了测试且对测量系统的稳定性进行了测试.最后,实现了辊筒表面结构的在位测量.

关键词：误差分离;轮廓重构;微位移平台

所属期刊栏目：48

分类号：TH133.35

资助基金：广州市科技计划重点项目201810220040

在线出版日期：2022-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：72-80