基于UMAC的液体静压导轨定位精度补偿技术研究

摘要：

为了消除系统外产生的误差因素,提高液体静压导轨的定位精度,从而使超精密数控机床的加工精度得到提高,搭建UMAC运动控制器、TRUST线性驱动器以及上位机的硬件平台.通过雷尼绍激光干涉仪,测量静压导轨在全闭环控制下的定位精度,建立误差补偿表,利用UMAC定位精度补偿功能对液体静压导轨定位精度进行实时软件补偿.测试结果表明:基于UMAC误差补偿功能使液体静压导轨的定位精度得到了有效提高,定位精度达到±0.6 μm,最终结果达到预期效果.

关键词：UMAC、静压导轨、激光干涉仪、定位精度、误差补偿

所属期刊栏目：45

分类号：TG659

资助基金：广东省应用型科技研发专项资金项目2015B090921007

在线出版日期：2018-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：72-76