10.3969/j.issn.1006-0316.2015.03.012
基于ANSYS Workbench的真空镀膜设备真空室体有限元分析
以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立三维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析.通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果结合技术要求对真空室体结构进行优化设计.
真空镀膜设备、真空室体、ANSYS Workbench
42
TB753.2(真空技术)
2015-04-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
43-46