MEMS开关悬臂梁建模及有限元分析

摘要：

在传统式的以绝缘体上硅即SOI为基底的MEMS接触式开关基础上进行模型的设计及优化.利用SolidWorks三维建模软件建立MEMS开关悬臂梁和质量块的三维模型,以SolidWorks Simulation仿真软件对悬臂梁进行有限元分析,网格的划分、载荷分析、应力分析以及位移分析并进行二次优化设计从而达到最佳方案.最终选择六边形的多孔质量块作为配重,选取扭梁结构作为梁最终结构,使梁在受到相同的惯性力的作用下应力更小、体积更小、灵敏度更高.最终提高MEMS开关的可靠性与灵敏度.

关键词：SolidWorks Simulation、悬臂梁、质量块、有限元、CAE方法

所属期刊栏目：40

分类号：TH824

在线出版日期：2013-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：57-59