一种对微型元件行之有效的力学量检测方法

摘要：

论述了对微型结构(微型触觉传感器敏感单元)的静态、动态加载方法和用光纤式麦克尔逊干涉仪对其力学参数(应变、固有频率、振型等)的检测方法,并与有限元计算做了对比.通过结果比较和误差分析,为微型触觉传感器敏感单元的优化设计和应用提供依据和支持.

关键词：微型机械、静态特性、动态特性、光纤

所属期刊栏目：27

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：中国科学院资助项目19672062

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38,43