硅MEMS麦克风克服噪声问题

摘要：

传统驻极体电容器麦克风(ECM)作为一种机电元件一直以来都用于数以十亿计的手机、笔记本电脑等便携式电子设备中.不过,过去50年间,ECM始终没有什么根本性变化,而且,由于存在大量的机械和环境噪声问题,它在新型便携式设备中的功能性受到限制,成为音频系统设计人员、机械设计人员以及制造商的关键"痛点".

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在线出版日期：2019-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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