10.3969/j.issn.1006-8554.2009.03.063
高性雒单晶硅谐振压力传感器
@@ 高性能单晶硅谐振压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,也能测量差压,精度0.1%,其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现.
单晶硅、谐振、压力传感器、抗干扰能力、频率信号、工艺参数、电磁激励、测量、稳定性、高性能、转换、制作、需求、输出、量程、精度、差压、A/D
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TP3;TP2
2009-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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