物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应

摘要：

金属玻璃薄膜是在金属玻璃的基础上发展出来的一种新型薄膜材料,一方面继承无序原子排列结构所赋予的优异物理、化学和机械性能,另一方面有可能通过调整物理气相沉积工艺,构筑界面,制备纳米结构金属玻璃薄膜,克服块体金属玻璃的本征脆性.近年来,金属玻璃薄膜在各个领域快速发展,引起广泛的关注,已经成为新的研究热点.本文主要通过回顾最近几年关于金属玻璃薄膜制备参数对微观结构和性能的影响以及样品尺寸效应,分析、总结研究工作进展,并对未来可能的金属玻璃薄膜研究进行简单展望,旨在为从事金属玻璃薄膜研究的人员提供参考.

关键词：金属玻璃薄膜、磁控溅射、尺寸效应、弹性变形、塑性变形、硬度

所属期刊栏目：57

分类号：TG139.8(金属学与热处理)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2022-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共18页

页码：473-490