Cu系纳米金属多层膜微柱体的形变与损伤及其尺寸效应

摘要：

纳米金属多层膜材料已成为目前高性能微元器件以及互连结构的核心材料体系,其服役过程中的变形损伤与断裂是导致系统失效的关键因素.以本课题组近年来的研究结果为基础,结合当前国内外有关金属多层膜微柱体塑性变形行为研究的最新进展,阐述了金属多层膜微柱体微观结构-尺寸约束-服役性能三者之间的关联性,揭示了金属多层膜微柱体变形模式与损伤的内在规律,归纳了晶体/晶体与晶体/非晶两类层状结构材料加工硬化/软化行为的微观机理,并对纳米金属多层膜研究的发展趋势进行了展望.

关键词：纳米金属多层膜、微柱体、塑性变形、形变损伤、尺寸效应

所属期刊栏目：52

分类号：TG113(金属学与热处理)

资助基金：国家重点基础研究发展计划项目2010CB631003,国家自然科学基金项目51571157,51321003,51322104和51201123,高等学校学科创新引智计划项目B06025及陕西省自然科学基金基础研究计划项目2015JM5158资助 Supported by National Basic Research Program of China No.2010CB631003,National Natural Science Foundation of China Nos.51571157,51321003,51322104 and 51201123,Program of Introducing Talents of Discipline to Universities of China No.B06025and Natural Science Basic Research Plan in Shaanxi Province of China No.2015JM5158

在线出版日期：2016-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1249-1258