C含量对TiWCN复合膜微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响
采用磁控溅射仪制备了一系列不同C含量的TiWCN复合膜.利用XRD,SEM,纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对TiWCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能进行了表征.结果表明:TiWCN复合膜由fcc结构的TiWCN相和六方结构的Ti2N相组成;随着C含量增加,薄膜硬度先升高后降低,室温摩擦系数逐渐减小,而磨损率先减小后增大.当C含量为11.25％时,硬度达到最大值,为35.97 GPa;磨损率获得最小值,为1.26×10-5 mm3·N-1·m-1.当C含量为13.68％时,摩擦系数最小,为0.32.当温度低于370℃时,TiWCN复合膜的摩擦系数和磨损率小于TiWN薄膜;当温度超过370℃时,TiWCN复合膜的摩擦系数和磨损率大于TiWN薄膜.C添加到TiWN薄膜中提高了薄膜的力学性能和常温摩擦磨损性能,而薄膜的高温摩擦磨损性能并未得到改善.
磁控溅射、TiWCN复合膜、微结构、力学性能、摩擦磨损性能
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TG174.444(金属学与热处理)
国家自然科学基金项目51074080和51374115资助;Supported by National Natural Science Foundation of China Nos.51074080 and 51374115
2014-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
1350-1356
