(Ti,Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备

摘要：

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,Al)N涂层,研究了N2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N2分压下,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N2分压的增加,涂层应力沿层深呈“钟罩型”分布,且全膜厚的应力值也明显增大；通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随N2分压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则大幅下降；采用改变N2分压工艺制备(Ti,Al)N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能,并可成功制备厚度在130 μm以上的硬质涂层.

关键词：(Ti、Al)N、硬质涂层、应力分布、调整应力、N2分压

所属期刊栏目：48

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金50471072;广东省自然科学基金S2011040004468

在线出版日期：2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：277-282