二次离子质谱仪测量扩散曲线时“零曲线”的分离

摘要：

二次离子质谱仪测量的元素深度分布曲线受离子注入引发的原子混合、坑壁、晶体取向以及表面粗糙度等因素的影响,使得实测曲线偏离真实元素分布曲线.通过测量扩散退火前溶质原子在样品中的分布曲线,即“零曲线”,可以表征各种因素的综合效果.本文提出一种使用Fourier级数解卷积的方法有效地从实测曲线中分离“零曲线”的影响,得到元素的真实分布曲线的方法.并利用此法分析了Zn在租晶Cu及用动态塑性变形方法制备的纳米结构纯Cu中扩散的浓度-深度分布曲线.

关键词：二次离子质谱、深度分析、零曲线、扩散、动态塑性变形

所属期刊栏目：48

分类号：TB303(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50890171;国家重点基础研究发展计划项目2012CB932201;国家国际科技合作专项项目2010DFB-54010

在线出版日期：2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：245-249