D+离子束辐照对Ti膜的影响

摘要：

在加速器上,利用不同能量的D+离子束对Ti膜进行连续辐照,利用慢正电子湮没技术和SEM对束流辐照前后Ti膜进行表征.结果表明,D+离子束对Ti膜造成辐照损伤,随D+离子束能量增大,辐照损伤的程度加重;辐照损伤最大值在0.3μm处;D+离子束对Ti膜表面造成不同程度的烧蚀,随D+离子束能量增加,膜表面烧蚀程度增加,膜表面几何不均匀性导致膜表面出现选择性烧蚀.数值计算表明,随能量增加,D+离子在Ti膜中的能量沉积增大,这与SEM观测结果相符.

关键词：D+、Ti膜、慢正电子湮没技术

所属期刊栏目：46

分类号：TG146.23(金属学与热处理)

资助基金：中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金资助项目S20090801

在线出版日期：2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：810-813