多组分缓冲层W梯度掺杂DLC复合薄膜研究

摘要：

用离子束辅助非平衡中频磁控溅射技术,在Si,高速钢或不锈钢基体上分别沉积得到了具有多组分过渡金属层缓冲的W梯度掺杂类金刚石碳(DLC)膜,研究了W靶电流对DLC膜组成、结构和性能的影响.实验表明,随着W靶电流增大,薄膜中W掺杂量增加,W的碳化物含量增加,sp~3结构含量减少;薄膜的纳米硬度和弹性模量逐渐增大,且材料抗塑性参数H/E随之增大;随W靶电流增大,材料与基体结合力增强,划痕实验临界载荷在80-100 N之间,材料摩擦系数增大;但磨损率因W掺杂而明显减小,且随W靶电流增大而减小.样品表面元素分布均匀,粗糙度(R_A)较小,R_A值在7.56-15.8 nm之间.

关键词：复合镀膜技术、DLC薄膜、W掺杂、摩擦学性能

所属期刊栏目：46

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：科技部重大国际合作项目2006DFB51260;清华大学摩擦学国家重点实验室开放项目

在线出版日期：2010-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：34-40