多层膜晶界和膜界间竞比变形及其对硬度测量的影响

摘要：

使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射(XRD)和高分辨电子显微术(HRTEM)对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法(CSM)研究了不同压入深度下多层膜的硬度.结果表明,随调制波长减小,薄膜呈纳米晶结构特征且存在超硬效应.调制波长L大于30nm时,纳米压入硬度随压入深度的增加而升高;L小于30nm时,最大压入深度的硬度测量值反而最小.同时发现压入深度较小时硬度相对大小对调制波长不敏感.结合微结构表征,从晶界和膜界的竞比变形角度进行了分析讨论.

关键词：多层膜、硬度、压入深度、调制波长、晶界

所属期刊栏目：43

分类号：TB43;O346.3(工业通用技术与设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2004CB619302;国家自然科学基金50471035

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：603-606