金刚石薄膜与WC-Co硬质合金结合力的改善

摘要：

利用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜/基体间的结合力.结果表明,微米/纳米复合金刚石薄膜涂层分布均匀,具有低的表面粗糙度.Murakami溶液处理硬质合金可产生均匀的表面沟槽,其金刚石薄膜与基体间的临界载荷约为1.5 kN,而用该方法制备的涂层钻头加工性能很差.H2等离子体处理促进了硬质合金基体表面的WC晶粒更加粗大、致密,其临界载荷超过1.5 kN,用该方法制备的涂层钻头的加工性能优良.

关键词：复合金刚石薄膜、硬质合金、结合力、Murakami溶液、H2等离子体

所属期刊栏目：42

分类号：TB383;TG146(工程材料学)

资助基金：中国物理研究院重点项目20050805

在线出版日期：2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：763-769