掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制

摘要：

采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2%Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜.利用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能,研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律,确定了制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.

关键词：磁控溅射、ZAO薄膜、红外反射

所属期刊栏目：41

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA513024

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：333-336