用薄膜内耗仪测定薄膜应力

摘要：

采用一种新的薄膜内耗仪观测Ni50Ti50薄膜样品的形变(薄膜形变造成薄膜与载膜硅片之间的界面应力)随温度或其它环境参量的变化.同步测量了薄膜的内耗、动态模量、薄膜应力以及Ni50Ti50薄膜的相变过程.

关键词：内耗、形状记忆效应、薄膜应力

所属期刊栏目：39

分类号：TG111.7;TG113.226(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1225-1227