反应磁控溅射MgO薄膜溅射模式的分形维表征

摘要：

用反应磁控溅射的方法制备了MgO薄膜.基于原子力显微镜观测,并借助Fourier变换,计算了薄膜表面形貌的分形维数.发现分形维数变化对应于薄膜溅射模式的变化,二者之间有相关性氧分压30%的分形维数是一个临界点.分形维数若发生明显跌落,意味着溅射模式发生变化.界于临界值两侧的分形维数,分别对应两种截然不同的溅射模式.与临界值对应的溅射状态则处于金属模式和氧化物模式的混和状态.

关键词：反应溅射、MgO薄膜、分形维、溅射模式

所属期刊栏目：39

分类号：TG174.44;O484(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59931010;教育部高校骨干教师资助计划

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1051-1054