TiN附着膜的应力-应变关系

摘要：

利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜．借助X射线应力分析技术和微拉伸设备，测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变，进而求其等效应力-等效单轴应变关系，并由此算得它的条件屈服点σ(0.1)和σ(0.2)分别为4.2和4.4 GPa，加工硬化指数为0.36．用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa，弹性模量为420 GPa．TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形．

关键词：TiN膜、双轴应力、应力-应变关系、X射线拉伸实验、纳米压痕法

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分类号：TG113.25;TG115.222;O484.2(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59931010,50272067

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：721-724