HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究

摘要：

热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000 K恒温边界条件下,热传导都使衬底温度的空间分布均匀性明显优于纯热辐射下的温度分布.这些计算结果为大面积高质量金刚石膜的生长进一步提供了理论基础.

关键词：金刚石膜、辐照度、温度场、热传导、热丝化学气相沉积

所属期刊栏目：38

分类号：TB115;O781(工程基础科学)

资助基金：国家科技攻关项目59292800;辽宁省科技厅资助项目

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1228-1232