脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构

摘要：

利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.

关键词：脉冲高能量密度等离子体、立方AlN、六方AlN、显微组织

所属期刊栏目：38

分类号：TG17(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59871060

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：652-656