Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属膜的划痕特征载荷

摘要：

采用摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法研究了Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属薄膜的临界载荷Lc,并与TiN硬质薄膜进行了对比.实验结果表明:摩擦力和声发射模式均能反映出压头进入不同金属膜层时的变化,在单一金属薄膜层中两者均无大的变化.对应实验范围内不同的沉积温度,拐点特征载荷值基本不受其影响,而主要取决于多层膜的层厚和层数.

关键词：划痕法、金属薄膜、临界载荷

所属期刊栏目：38

分类号：TG113.25(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59931010;中-法合作项目PRA MX9906

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：407-410