低辐射薄膜TiO2-Ag-TiO2-siO的纳米尺度显微结构

摘要：

成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.

关键词：低辐射薄膜、微观结构、HREM、纳米束分析

所属期刊栏目：34

分类号：O484.1;TG115.21(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50071063,59831020

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：337-339