射频辉光放电CH4等离子体一维流体动力学模拟

摘要：

完整建立一个关于射频辉光放电CH4等离子体的流体动力学模型.模型包括基于迁移-扩散近似的粒子平衡方程、电子能量平衡方程,共包含了20种粒子(环境气体粒子,激发态粒子,离子和电子)和49类化学反应(电子-中性环境粒子、离子一中性环境粒子、激发态粒子-激发态粒子(中性环境粒子)).结果表明,在强电场区域有较高的电子反应率系数;等离子体中除源气体CH4外,H2,C2H6,C3H8,C2H4和C2H2 也有较高的密度含量;激发态粒子中,CH3含量最高,密度约为101919m-3;在较低放电压力时(如18 Pa),CH5+5在离子成分中密度含量最高,当放电压力较高时(如67 Pa),C2H+5在离子成分中占主导地位;除C2H+5外,其它各离子和激发态粒子在极板上的粒子流量随功率的增大逐渐升高.

关键词：甲烷等离子体、射频辉光放电、流体动力学模型、玻尔兹曼方程

所属期刊栏目：28

分类号：O461.2(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：沈阳科学技术计划项目1071196-1-00;辽宁省科学技术基金20071019

在线出版日期：2011-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：329-340