10.3969/j.issn.1001-246X.2008.02.014
薄膜光学常数的粒子群算法
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法--粒子群算法处理实验数据.以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理.实验结果表明,可以同时获得3个薄膜参数(折射率,(n),消光系数k和薄膜厚度d),而且在确切参数范围未知情况下,大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛到最优解.该算法与遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较,计算精度高,收敛速度快.
粒子群算法、椭偏法、光学薄膜
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O484.41(固体物理学)
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金ZSKJ200702
2008-07-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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