平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算

摘要：

建立了平面行星夹具薄膜淀积无量纲模型,通过对蒸发源位置L/H、行星主轴与副轴距离P/H、夹角倾角A以及蒸发源蒸汽发射特性N等因素的分析,得到了典型径向理论均匀的优化几何配置.并从优化几何配置的膜料效率、角向均匀性和膜厚分布对蒸发源蒸汽发射特性变化的敏感性方面评价优化结果,得到了最优化设计区域.结果表明,优化配置的L/H+P/H小,则角分布差异小;L/H+P/H和A小,则膜料效率高;L＜P,A=-15°时,优化配置对N变化最不敏感;L＞P时,由N变化引起的典型径向分布变化小于0.5%.

关键词：薄膜淀积、均匀性、平面行星夹具、计算机模拟

所属期刊栏目：23

分类号：TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2006-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：738-742