双辉光放电静电场数值模拟及场分布边角效应分析

摘要：

根据双辉光放电3个电极极板上的电势,利用边界元积分方程建立以面电荷密度为未知量的离散方程,通过求解线性方程组计算3个电极极板上面电荷的不均匀分布.由极板上的不均匀面电荷分布计算在真空状态下空间任意一点的电势和电场的空间分布,利用数值解对真空状态下双辉光离子渗金属实验装置场分布边角效应进行了分析.

关键词：双辉光放电、数值模拟、边角效应、边界元积分方程

所属期刊栏目：23

分类号：TN141.5;TN631(真空电子技术)

资助基金：中国科学院资助项目50374050;北京市教委科技发展计划项目KM200510015003

在线出版日期：2006-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：350-354