10.3969/j.issn.1001-246X.2004.03.006
一维原子刻蚀的数值模拟
通过直接的数值模似,分析了束在激光驻波场下传播的动力学行为,估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.
原子刻蚀、激光驻波场、量子力学数值模拟
21
O562.2(分子物理学、原子物理学)
2004-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
327-332
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10.3969/j.issn.1001-246X.2004.03.006
原子刻蚀、激光驻波场、量子力学数值模拟
21
O562.2(分子物理学、原子物理学)
2004-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
327-332
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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