宏观放电参数对快原子态氮(N+,Nf)的影响

摘要：

采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和重粒子(N+2,N+,Nf)混合的蒙特卡罗方法,模拟研究了快原子态粒子(N+,Nf)的产生率及轰击阴极的能量分布随宏观放电参数(P,Ve)的变化规律.结果表明,存在一最佳放电条件,使阴极壁处粒子(N+,Nf)的粒子数密度大且能量高;当电压大于800V时,轰击阴极的活性粒子(N+,Nf),主要由N+2-N2离解过程产生,电压小于300 V时,主要由e -N2离解过程产生,模拟结果与实验结果相符合.

关键词：氮直流辉光放电、蒙特卡罗模拟方法、快原子态氮粒子、N+2-N2碰撞离解

所属期刊栏目：20

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：河北省自然科学基金100064

在线出版日期：2003-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：403-407