10.3969/j.issn.1001-246X.2002.05.001
微槽道气体流动的统计模拟
利用基于分子模型的统计模拟方法--信息保存方法(IP)统计模拟了实验条件下微槽道气体流动,仔细讨论了用IP方法模拟长槽道稀薄气流时遇到的问题,并给出了解决的方法,即采取守恒形式的控制方程避免质量流量计算误差积累,并利用超松弛方法使收敛过程加速.将IP计算结果与压力分布和质量流量实验数据进行了比较.
微机电系统、微槽道气流、稀薄气体效应、统计模拟、直接模拟Monte Carlo方法
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V211(基础理论及试验)
国家自然科学基金59876043,19889209;中国科学院"百人计划"
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
377-382