微槽道气体流动的统计模拟

摘要：

利用基于分子模型的统计模拟方法--信息保存方法(IP)统计模拟了实验条件下微槽道气体流动,仔细讨论了用IP方法模拟长槽道稀薄气流时遇到的问题,并给出了解决的方法,即采取守恒形式的控制方程避免质量流量计算误差积累,并利用超松弛方法使收敛过程加速.将IP计算结果与压力分布和质量流量实验数据进行了比较.

关键词：微机电系统、微槽道气流、稀薄气体效应、统计模拟、直接模拟Monte Carlo方法

所属期刊栏目：19

分类号：V211(基础理论及试验)

资助基金：国家自然科学基金59876043,19889209;中国科学院"百人计划"

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：377-382