ECR微波等离子体离子输运的数值模拟

摘要：

建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型，对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究.采用MonteCarlo(M-C)方法模拟了存在外磁场情况下，离子离开放电室后历经中性区、鞘层区、最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程.考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射，统一处理了中性区和鞘层区电势的衔接.采用曲线拟合，电势自洽迭代方法把中性区和鞘层区衔接起来，得到了光滑自洽的电势分布曲线和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布及角分布.

关键词：ECR微波等离子体、离子输运、蒙特卡罗方法

所属期刊栏目：18

分类号：O53;O242.1(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：152-156