Monte Carlo方法模拟低能电子在多元介质中散射——基于平均散射截面方法

摘要：

应用基于平均散射截面低能电子在多元介质中散射Monte Carlo方法，模拟E≤5eV低能电子在多种多元介质中散射。计算了电子背散射系数，背散射电子能谱、角分布，入射电子、背散射电子在介质中的作用范围、沉积能分布，并与确定散射中心方法的结果比较。两种方法计算结果广泛一致，进一步证明基于平均散射截面方法的有效性和可靠性。入射电子能量较低，介质平均原子序数较大时，计算的背散射电子角分析不服从余弦分布律。

关键词：低能电子散射、MonteCarlo方法、多元介质、平均散射截面

所属期刊栏目：17

分类号：O562.5(分子物理学、原子物理学)

资助基金：国家自然科学基金;山东省高等学校优秀中青年学术骨干资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：331-336