热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响

摘要：

采用MEMS技术制备了尺寸为500μm×100μm×15μm的微尺度磁致伸缩材料传感器,发现MEMS技术沉积过程中传感器内部不可避免地产生了内应力,对传感器磁性能带来不利影响.对徽尺度磁致伸缩材料传感器进行真空热处理,旨在消除内应力,进一步提高传感器磁学性能.结果表明:真空退火可减小或消除传感器内应力,提高磁学性能,其中最佳退火温度为250℃,时间为2h.该温度下退火不仅可完全释放传感器内应力,还可以改善波谱质量,提高共振频率.

关键词：磁致伸缩材料、传感器、MEMS、退火、内应力

所属期刊栏目：27

分类号：TG75.5(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家自然科学基金51271039

在线出版日期：2015-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38