退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响.实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能.随着退火温度的升高,ZnO薄膜的晶粒增大,同时在室温下观察到明显的紫外发光现象,其紫外PL谱峰值变强,并有红移现象.

关键词：ZnO薄膜、溶胶-凝胶法、光学性能、退火温度

所属期刊栏目：19

分类号：TB43;O552.6(工业通用技术与设备)

资助基金：江苏省自然科学基金BK2006042

在线出版日期：2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6