10.3969/j.issn.2095-0411.2002.04.015
压力传感器的应力计算
从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导.用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0.09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%.
板壳理论、压力传感器、应力计算
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O343.9;O484.2(固体力学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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