渗氮-气相沉积硬质膜复合处理技术及其发展

摘要：

阐述了渗氮-气相沉积硬质膜复合处理的设计思想.从渗氮-气相沉积硬质膜复合处理工艺方法的选择、复合处理层组织结构、性能研究等方面介绍了渗氮-气相沉积硬质膜复合处理技术的发展.

关键词：渗氮、气相沉积、复合处理、硬质膜

所属期刊栏目：13

分类号：TG174.444;TG156.8+2(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金19392300-5

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41