Sol-Gel V2O5薄膜的成膜和取向研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si衬底上沉积V2O5薄膜,详细介绍了对衬底表面作亲水处理的方法.以不同浓度溶胶,在不同温度和不同气氛下对薄膜进行热处理,得到以〈001〉向为主取向的高取向薄膜,从理论上解释了V2O5薄膜的取向机理,并与相同衬底上的热蒸发和PLD氧化钒薄膜的取向作了比较.

关键词：溶胶-凝胶法、V2O5薄膜、结晶取向

所属期刊栏目：13

分类号：TB43;O484.4;O484.4+2(工业通用技术与设备)

资助基金：中国科学院实验室基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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