阴极等离子电解大面积沉积涂层技术

摘要：

等离子电解是在电解过程中电极表面同时发生微弧等离子放电的一种特殊电解过程.根据等离子体产生的电极,等离子电解可分为阳极等离子电解和阴极等离子电解[1].阳极等离子电解最典型的应用就是阀金属的阳极微弧氧化,可以用于制备电子薄膜、陶瓷涂层、复合氧化膜等[2,3].阴极等离子电解则具有更广泛的用途,如制备纳米碳管、类金刚石薄膜[4],沉积金属、合金及复合涂层[5,6],沉积氧化物涂层[7,8],渗碳、渗氮、渗硼[9,10],进行金属表面清理[11],等.

资助基金：国家自然科学基金项目51171021

在线出版日期：2015-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：78-82