靶材电流对TiSiCN涂层组织结构与力学性能的影响

摘要：

采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在H13钢表面制备了不同靶材电流的TiSiCN涂层,采用划痕仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、摩擦磨损试验机(UMT-3)等研究了靶材电流对涂层的组织结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响.结果表明:随着靶材电流的增加,涂层中Ti和Si元素的含量逐渐减小,C元素含量逐渐增加,涂层的表面越来越平整致密.XRD图谱表明涂层中存在SiC、Si3N4和C这3种非晶相.随着靶材电流的增加,涂层的硬度先降低后升高,靶材电流最高的涂层具有最优的结合力和最佳的耐磨减摩性能.

关键词：TiSiCN涂层;组织结构;力学性能;摩擦磨损

所属期刊栏目：42

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：山东省重点研发计划项目2019GGX102023

在线出版日期：2021-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：141-149