10.13289/j.issn.1009-6264.2021-0184
靶材电流对TiSiCN涂层组织结构与力学性能的影响
采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在H13钢表面制备了不同靶材电流的TiSiCN涂层,采用划痕仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、摩擦磨损试验机(UMT-3)等研究了靶材电流对涂层的组织结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响.结果表明:随着靶材电流的增加,涂层中Ti和Si元素的含量逐渐减小,C元素含量逐渐增加,涂层的表面越来越平整致密.XRD图谱表明涂层中存在SiC、Si3N4和C这3种非晶相.随着靶材电流的增加,涂层的硬度先降低后升高,靶材电流最高的涂层具有最优的结合力和最佳的耐磨减摩性能.
TiSiCN涂层;组织结构;力学性能;摩擦磨损
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TG174.44(金属学与热处理)
山东省重点研发计划项目2019GGX102023
2021-11-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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