PCrNi3Mo钢表面磁控溅射CrN涂层工艺优化及性能

摘要：

采用磁控溅射技术在PCrNi3Mo钢表面沉积了CrN涂层.利用激光共聚焦显微镜、扫描电镜(SEM)、纳米压痕仪、X射线衍射仪(XRD)对涂层的形貌、硬度与弹性模量和相结构进行了表征,研究了基体负偏压、溅射电流和N2/Ar流量比对溅射涂层结构和力学性能的影响.结果表明:在基体负偏压为100 V、溅射电流为0.2A、N2/Ar流量比为1时溅射的CrN涂层质量最佳,其硬度和弹性模量分别为21.38 GPa和272.71 GPa,较PCrNi3Mo钢基体的硬度(5.57 GPa)与弹性模量(258 GPa)明显提高.

关键词：火炮身管、磁控溅射、CrN涂层、力学性能

所属期刊栏目：39

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：沈阳理工大学重点实验室开放基金4771004kfs42

在线出版日期：2018-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：132-138