Si掺杂对纳米硬质CrAlN涂层结构及性能影响

摘要：

采用真空阴极电弧离子镀技术在V-4E工具钢表面制备了CrAlN、CrAlSiN两种多元纳米硬质涂层.采用划痕仪、工具显微镜、显微硬度计、球磨仪、SEM、EDS、XRD、TEM及XPS分析了涂层的力学性能、摩擦学性能以及微结构.结果表明:与CrAlN涂层相比,CrAlSiN涂层中Si的掺杂能使晶粒细化,提高涂层硬度和耐磨性、优化膜基结合水平;CrAlSiN涂层中的立方相CrN由(111)择优取向向(200)择优取向转变,晶粒尺寸明显减小,相结构为非晶态Si3N4包覆纳米晶复合混合框架结构.

关键词：真空阴极电弧离子镀、纳米硬质涂层、晶粒细化、耐磨性

所属期刊栏目：38

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

在线出版日期：2017-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：119-125