TiAlN薄膜掺杂Cr、Ni对其耐腐蚀性的影响

摘要：

在4Cr13不锈钢表面采用多弧离子镀沉积TiAlN薄膜,采用磁控溅射法和多弧离子镀在4Cr13表面分别沉积掺杂Cr和Cr、Ni的TiAlN薄膜,采用电化学工作站对其进行电化学腐蚀性能测试.结果表明:在l mol/L的H2SO4溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的4.1倍,是掺杂Cr的TiAlN薄膜的1.3倍;在3％的NaOH溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的3倍,是掺杂Cr的TiAlN薄膜的2倍;在3.5％的NaCl溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的11.4倍,是掺杂Cr的TiAlN薄膜的1.3倍.

关键词：不锈钢、TiAlN薄膜、多弧离子镀、磁控溅射、腐蚀

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分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51264007;桂电-桂林电科院研究生资助项目20141103-09-Z;广西信息材料重点实验室重点项目1210908-214-Z;广西自然科学基金资助项目2015GXNSFBA139214;桂林电子科技大学研究生教育创新计划资助项目YJCXB201501

在线出版日期：2017-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：167-172