非平衡磁控溅射Cp/AlSn镀层组织结构与性能

摘要：

利用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝基轴承合金表面沉积Cp/AlSn复合镀层.采用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对镀层的微观形貌进行观察,并对镀层的维氏硬度和摩擦学性能进行了测试.结果表明,非平衡磁控溅射离子镀Cp/AlSn镀层,当碳靶电流在0.2～0.8A范围内,镀层呈等轴结构生长,随碳靶电流增大,镀层晶粒逐渐细化,且致密度增加;在Cp/AlSn复合镀层中,Al、Sn和C元素分别以单质形式存在,且随掺碳量增加,Cp/AlSn复合镀层非晶特征逐渐增强;随碳靶电流增加,镀层硬度增加,摩擦系数减小,电流为0.8A时,镀层硬度最高为230 HV0.025.摩擦系数最低为0.09,磨损率先减小后增大,碳靶电流为0.4A时,镀层的磨损率最低为6.6×10-16 m3/(N·m),其磨损机制逐渐由粘着磨损转变为磨粒磨损.

关键词：非平衡磁控溅射、Cp/AlSn镀层、硬度、摩擦系数

所属期刊栏目：36

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：陕西省产业化培育项目2012JC13;陕西省光电功能材料与器件重点实验室开放基金;陕西省西安市科技计划项目CXY14422;陕西省自然科学基础研究计划项目2014JQ2-5027

在线出版日期：2015-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：161-166