TiAl表面液相等离子沉积Al2O3膜的结构与性能

摘要：

在TiAl合金表面以等离子液相沉积方法制备了Al2O,膜.扫描电镜观察膜为多孔结构,沉积膜的内部孔的直径约30 μm,表面孔的直径约有10 μm;多孔结构的膜硬度约为1200 HV;沉积膜的主要相成分是γ-Al2O3及少量的α-Al2O3;显微划痕实验结果表明膜层与基体之间有较好的结合力,划痕超声信号出现在15 N压力附近;利用SEM及EDS能谱分析膜层破裂机制,膜层的开裂主要是由于基体在压力作用下的变形导致.

关键词：Al2O3膜、等离子液相沉积、性能、TiAl合金

所属期刊栏目：36

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金51372069

在线出版日期：2015-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：142-146