阴极弧离子镀AlCrN涂层高温氧化后XPS分析

摘要：

采用阴极弧离子镀方法在TiC基金属陶瓷刀具表面沉积了AlCrN涂层,进行了900℃下2h高温氧化试验.通过SEM、EDS、XRD、XPS等手段分析了AlCrN涂层高温氧化前后表面形貌、元素组成、物相组成及元素结合能,并讨论了AlCrN涂层高温氧化及失效机理.结果表明,氧化前AlCrN涂层由AlN、CrN和Cr2N物相组成,其中CrN表现出(200)的择优取向,氧化后其物相转变为抗高温的Al2O3、Cr3O4和Ti4O3氧化物;氧化前AlCrN涂层中Al和N以Al-N键、Cr和N以Cr-N键存在,氧化后Al与O以Al-O键、Cr与O以Cr-O键方式存在,在涂层-基体结合界面处形成了致密的扩散层.

关键词：阴极弧离子镀、AlCrN涂层、高温氧化、物相组成、光电子能谱分析

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分类号：TG174.44;TG115.5(金属学与热处理)

资助基金：江苏省科技支撑计划工业BE2012066;中国学位与研究生教育学会研究课题C1-2013Y07-051

在线出版日期：2015-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：138-142