激光辐照诱导氧化铝陶瓷基板表面化学镀铜

摘要：

采用激光辐照处理对Al2O3陶瓷基板进行预处理,经过超声波辅助化学镀在Al2O3陶瓷基板表面成功制备了化学镀铜层.利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和能谱(EDS)研究分析了激光辐照预处理前后Al2O3基板表面形貌和Al2O3基板化学镀铜表面以及截面形貌,划痕形貌,并与传统贵金属Pd活化预处理化学镀铜进行对比.试验结果表明:激光辐照处理后Al2O3基板表面出现了大量的微孔和纳米级颗粒凸起,这些表面缺陷易于吸附外来物质成键,实现化学镀铜过程,其中镀层与基底也有较好的结合力;与传统Pd活化预处理化学镀铜对比发现,激光辐照处理避免了繁琐的工艺和贵金属带来的污染,同时生成的化学镀铜层颗粒与颗粒之间融合更好.

关键词：Al2O3陶瓷基板、激光辐照处理、化学镀铜

所属期刊栏目：35

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：国际热核聚变实验堆ITER计划专项2014GB121000;国家自然科学基金青年基金51204064;中央高校基本科研业务费专项资金资助2012HGQC0032;浙江省自然科学基金面上项目LY12E02003

在线出版日期：2014-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：184-188