Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化制备工艺

摘要：

用分析纯Ba(OH)2·8H2O和Sr(OH)2·8H2O配制电解液(浓度各为0.2 mol/L),采用微弧氧化技术在工业纯钛板(99.5％)表面原位生成BaxSr(1-x)TiO3铁电薄膜.对不同电流密度、电流频率和反应时间条件下获得的薄膜进行表征,研究了各因素对薄膜物相构成、表面形貌和表面粗糙度的影响.结果表明:所得薄膜均主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成；电流密度为20 A/dm2、电流频率为100 Hz、反应时间为10 min时,所得薄膜最平整、致密、表面粗糙度值最小,且微弧氧化孔洞分布最均匀,测得该薄膜在1 kHz条件下的介电常数为411.3.

关键词：铁电薄膜、Ba0.5Sr0.5TiO3、微弧氧化、表面形貌

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分类号：TG174.44;TM22(金属学与热处理)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资金资助2012ZZ0011

在线出版日期：2013-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：154-158