碳掺杂对CrTiAlN镀层显微组织和摩擦系数的影响

摘要：

采用磁控溅射技术在高速钢和单晶硅基体制备了不同碳含量的CrTiAlCN复合镀层,利用XRD、XPS、SEM分析了镀层的相结构、元素存在状态及截面显微形貌,通过销-盘式摩擦磨损试验机研究了镀层的摩擦系数。结果表明,镀层主要由CrN结构的化合物相组成;随着碳含量的增加,镀层中的sp2碳键含量增加,镀层逐渐开始非晶化,镀层更加致密。镀层的摩擦系数随碳含量的增加而下降,当碳含量为50.47 at%时,镀层摩擦系数降至0.1。

关键词：碳含量、显微组织、摩擦系数

所属期刊栏目：32

分类号：TG174.44;TB43(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展863计划2005AA33H010;陕西省国家重点学科培育经费项目

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：123-126